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D07-15质量流量控制器

D07-15是热式质量流量计,质量流量控制器可以应用到对各种气体进行测量和控制,除测量外还可以精密控制气体的质量流量,质量流量计(MFM)可以精密测量气体的质量流量。D07-15是金年会app计专门针对客户对流量稳定性的需求研发的高稳流型产品。
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产品描述
参数

特点

• 高稳流型
• 小体积,低波动
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 采用P20金手指插头

技术参数

类 型

D07-15

D07-15A

流量规格

( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
( 0~1,2,3,5) SLM

准确度

±1% F.S.

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤4 sec

工作压差范围

(0.1 ~ 0.3) MPa

最大工作压力

0.5

耐压

3 MPa

工作环境温度

5 ℃ ~ 45 ℃

输入输出信号

0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA)

电源

+15V  50mA
-15V  200mA

重量

0.85 kg

0.9 kg

 

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  • SC115 D07-15 中文使用手册 2023.1.pdf

    大小:
    2023-02-09 11:31:40
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