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CS300质量流量控制器&流量计

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CS300质量流量控制器&流量计

CS300气体质量流量控制器是金年会app计专门为大规模集成电路装备设计的产品,该产品在原有CS200气体质量流上,采用了基于DF的压力信号补小偿算法,全量控制器的基础新的金属表面处理工艺,产品各项技术指标均严格按照SEM标准,支持Ⅵ型,C型GS气路系统。
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产品描述
参数

优势

• 准确度采用设定点精度,产品精度可达±1.0% S.P.,响应时间最快≤ 0.5sec。
• CS300系列产品可带有压力补偿功能,对前段气体压力的扰动进行有效的补偿,减少压力变化对瞬时流量影响,从而保证产品工作的稳定性和准确性。
• 采用的恒功率传感器原理,在温度变化时进行相应的补偿,从根本上抑制了流量计的零漂现象,保证了传感器线性。
• 高端产品采用专门的金属表面处理技术,与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV,CS300C产品金属表面粗糙度更可达5RA以下,严格按照SEMI标准生产制造。

技术参数

CS300

类型

CS310C

CS320C

CS310D

CS320D

阀类型

常开或常闭

常开或常闭

常开或常闭

常开或常闭

流量规格(N2)

(0~1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM
(0~1,2,3,5,10,20,30) SLM

准确度

线性

±0.5% F.S.

重复精度

±0.2% F.S.

响应时间

≤ 0.8sec            (≤ 0.5sec  optional)

工作压差范围

0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15~0.35MPa  流量规格>10SLM

<0.02 MPa

0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15~0.35MPa  流量规格>10SLM

<0.02 MPa

0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15~0.35MPa  流量规格>10SLM

<0.02 MPa

0.05~0.35MPa 流量规格≤10SLM
0.15~0.35MPa  流量规格>10SLM

<0.02 MPa

温度系数

零点:≤±0.02% F.S./℃;调节时:≤±0.05% F.S./℃

耐压

3.5 MPa

漏率

1×10-11 Pa·m3 / sec He

密封材料

金属密封

最大工作压力

0.45MPa

工作环境温度

(0~50)℃

输入信号

数字:RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT
模拟:(0~5)VDC

数字:RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT
模拟:(0~5)VDC

数字:RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT
模拟:(0~5)VDC

数字:RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT
模拟:(0~5)VDC

输出信号

数字:RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT  
模拟:(0~5)VDC

零漂

在没有零点校正时<0.6%F.S./年

电源

±8~±16 VDC (双极) 或 +14~+28 VDC (单极)

表面化学成分

Cr/Fe比例≥2.0;CrO 厚度≥20 (埃)

-

表面粗糙度

Ra  5μinch

标准接头形式

VCR1/4阳接头;
1.125″C型密封接头
1.125″W型密封接头

1.5″B型密封接头
1.5″C型密封接头
1.5″W型密封接头

VCR1/4阳接头;
1.125″C型密封接头
1.125″W型密封接头

1.5″B型密封接头
1.5″C型密封接头
1.5″W型密封接头

电源接头形式

D型9针阳接头;D型15针阳接头;DeviceNet接头

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg

1Kg

 

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  • SC165 CS320D 中文使用手册2023.1.pdf

    大小:
    2023-02-09 14:35:23
  • SC163 CS320C 中文使用手册2023.1.pdf

    大小:
    2023-02-09 14:35:03
  • SC161 CS310D 中文使用手册2023.1(不涉密).pdf

    大小:
    2023-02-09 14:34:16
  • SC159 CS310C 中文使用手册2023.1(不涉密).pdf

    大小:
    2023-02-09 14:30:00
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