气路盘是金年会app计开发的气路输送系统的解决方案，该产品通过对气路原理图的设计，加工和测试，以隔膜阀，调压阀，压力传感器，过滤器，MFC等零部件实现对多种工艺气体的压力调节，纯度过滤，流量控制等功能，目前市场上常用的为传统VCR型气路盘和气体输送集成控制系统(Integrated Gas System)，即IGS气路盘，这两种气路盘业务金年会app计都有能力承接。
随着半导体领域的发展，对零部件小型化的提出了更高的要求，传统的VCR气路盘难以满足要求，IGS型气路盘应运而生，它具有气体直方向运输，体积小，便于安装维护等特点，是未来气路输送系统发展的方向;经过MFC多年研发经验的沉积，金年会app计的IGS气路盘具有高密封性，高精度，集成度高等优点，并可以依托金年会app计建立的特气实验室对特殊气体进行研究测量，保证IGS气路盘的特殊气体控制的高准确性。
