CS系列产品采用了国际领先的技术,申报并获得66项国家专利,其中PCT2项,发明专利24项。CS 系列产品的各项技术指标均严格按照SEMI标准,相对于模拟产品具有精度高,响应快,使用便捷，可实现功能多、易于通讯、扩展性和可兼容性强等优点。CS系列产品已被广泛应用于半导体、太阳能、燃料电池、真空、分析仪器、光电、制气、石化、医疗等行业。
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CS系列质量流量控制器&流量计
CS200质量流量控制器&流量计
CS200气体质量流量控制器，采用先进传感器和温度补偿技术，因此产品精度可以达到设定值1%以内，并且低温度系数可以保证产品适应不同的环境温度。同时，产品采用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加岀色。全量程范围内，CS200C产品最快可在800ms以内达到设定流量，响应时间将使用过程中产生的系统误差最小化，所需流量更加精准。
CS300质量流量控制器&流量计
CS300气体质量流量控制器是金年会app计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量流上，采用了基于DF的压力信号补小偿算法，全量控制器的基础新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEM标准，支持Ⅵ型，C型GS气路系统。
CS230质量流量控制器&流量计
CS230产品是金年会app计研发的中大流量产品,最高流量可达300SLM氮气,并可实现数字/模拟控制模式;产品采
用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加出色,最多2秒的高速响应将使用过程中产生的系统误差最小化,流量更加精准,产品具备低零漂、低温漂性能,产品支持 DeviceNet,RS485通讯协议。
用高速控制算法使整个流量计的响应时间方面更加出色,最多2秒的高速响应将使用过程中产生的系统误差最小化,流量更加精准,产品具备低零漂、低温漂性能,产品支持 DeviceNet,RS485通讯协议。
CS100质量流量控制器&流量计
CS100产品是基于金年会app计CS系列产品技术平台开发，在拥有恒功率传感器技术，数字传感器平衡技术，VCP线控制技术的基础上，采用客户定制化设计，客户可根据需要选用符合自身需求的产品，同时其独创的客户零点补唯功能(CGC)，能够解决由于客户地线连接导致的MFC精度不准问题，使产品更好的适应客户环境。
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