发展历程
始于登月 为需而生
Originated from Moon landing and born for demand
上世纪六十年代,阿波罗登月计划发展过程中需要对气体流量进行精密测量和控制,气体质量流量控制器应运而生,并很快被研究人员应用于当时刚萌芽的半导体制造行业中。
中国研发 从零起步
Research first in China and developed from blank
中国在上世纪七十年代末开始研发气体质量流量控制器,当时没有任何可借鉴的经验和技术。但幸运的是,接受任务的700厂非常重视这项研发任务,抽调了一批业务骨干组成攻关团队,团队中包括毕业于清华大学、北京大学、山东大学等院校的高材生和一批具有实际经验的高级技师,他们克服了很多困难,不断的实验、摸索,最终“功夫不负有心人”,在较短的时间里,我司第一台气体质量流量控制器试制成功。