产品中心
CS200质量流量控制器&流量计
优势
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• CS200C产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200C产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，CS200D产品金属表面粗糙度可达25RA。
• CS200产品严格按照SEMI标准生产制造，尺寸符合国际通用的SEMI标准。
• CS200系列产品支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
• 产品支持RS485，DeviceNet，Profibus以及EtherCAT通讯方式。
• 具有多气体多量程功能、自动归零功能、报警功能、软启动功能、延迟功能及功能强大的免费客户端使用软件。
技术参数
|
CS200 |
||||||
| 类型 |
CS200-A |
CS200-C |
CS200-D |
|||
|
阀类型 |
常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 或常闭 |
无 |
常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 或常闭 |
无 |
常开(100 SCCM≤流量规格≤5 SLM) 或常闭 |
无 |
|
流量规格(N2) |
(0～5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
(0～2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
||||
|
准确度 |
±1.0% S.P. (≥35% F.S.) |
|||||
|
线性 |
±0.5% F.S. |
|||||
|
重复精度 |
±0.2% F.S. |
|||||
|
响应时间 |
≤ 1sec |
≤ 0.8sec |
||||
|
工作压差范围 |
0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM |
＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa |
＜0.02 MPa |
0.05～0.35MPa |
＜0.02 MPa |
|
最大工作压力 |
0.45MPa |
|||||
|
温度系数 |
零点： ≤±0.05% F.S./℃； |
零点： ≤±0.02% F.S./℃； |
||||
|
耐压强度 |
3MPa |
|||||
|
漏率 |
1×10-10 Pa·m3 / sec He |
1×10-11 Pa·m3 / sec He |
||||
|
密封材料 |
氟橡胶 |
金属密封 |
||||
|
工作环境温度 |
（5～45）℃ |
（0～50）℃ |
||||
|
输入信号 |
数字： RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus或 EtherCAT |
无 |
数字： RS485 |
无 |
数字： RS485 |
无 |
|
输出信号 |
数字：:RS485 或 DeviceNet 或 ProfiBus 或 EtherCAT |
|||||
|
零漂 |
在没有零点校正时＜0.6%F.S./年 |
|||||
|
电源 |
±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28 VDC (单极) |
|||||
|
表面化学成分 |
常态 |
Cr/Fe 比例 ≥2.0, CrO 厚度 ≥ 20 （埃） |
常态 |
|||
|
表面粗糙度 |
25 Ra |
10 Ra |
25 Ra |
|||
|
标准接头形式 |
双卡套 φ6；双卡套 1/4´´；双卡套 3/8´´；VCR1/4´´阳接头；双卡套φ3； |
双卡套φ3；双卡套φ6；双卡套 1/4；VCR1/4 阳接头； |
||||
|
电源接头形式 |
D 型 9 针阳接头；D 型 15 针阳接头；DeviceNet 接头； ProfiBus 接头；模拟接头 |
|||||
|
重量 |
1 Kg |
0.8Kg |
1.2Kg |
1Kg |
1.2Kg |
1Kg |
