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D07-7质量流量控制器&流量计
特点
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 管状分流,使用寿命长
技术参数
编号 |
类型 |
D07-7K 型 |
D07-7B 型 |
D07-7C 型 |
D07-7CM 型 |
1 |
流量规格 |
(20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM
|
(0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM ( 0~1,2,3,5,10) SLM |
2 |
准确度 |
±1 % F.S |
±1.5 % F.S |
±1.5 % F.S |
±1.5 % F.S |
3 |
线性 |
±1 % F.S |
±1 % F.S |
±1 % F.S |
±1 % F.S |
4 |
重复精度 |
±0.2 %F.S |
±0.2 %F.S |
±0.2 %F.S |
±0.2 %F.S |
5 |
响应时间 |
电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec
|
电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec |
电特性: 10 sec; 气特性: ≤ 4 sec |
10 sec |
6 |
气压降 |
ˉ |
ˉ |
ˉ |
<0.01 MPa |
7 |
工作压差范围 |
(0.1 ~ 0.5) MPa |
(0.1 ~ 0.5) MPa |
(0.1 ~ 0.5) MPa |
<0.01 MPa |
8 |
温度系数 |
Zero:≤±0.1% F.S./℃; Span: ≤±0.2% F.S./℃; |
ˉ |
ˉ |
ˉ |
9 |
最大工作压力 |
1 MPa |
1 MPa |
1 MPa |
1 MPa |
10 |
耐压 |
3 MPa |
3 MPa |
3 MPa |
3 MPa |
11 |
工作环境温度 |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
12 |
输入输出信号 |
0 V ~ +5.00 V |
0 V ~ +5.00 V |
0 V ~ +5.00 V |
0 V ~ +5.00 V |
13 |
电源 |
+15 V 50 mA; -15V 200 mA |
+15 V 50 mA; -15V 200 mA |
+15 V 50 mA; -15V 200 mA |
+15 V 50 mA
|
14 |
重量 |
1.1 kg |
1.1 kg |
1.1 kg |
0.92 kg |