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D07-15质量流量控制器
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产品描述
参数
特点
• 高稳流型
• 小体积,低波动
• 橡胶密封、模拟电路的MFC
• 采用P20金手指插头
技术参数
类 型 |
D07-15 |
D07-15A |
流量规格 |
( 0~5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM |
|
准确度 |
±1% F.S. |
|
线性 |
±0.5% F.S. |
|
重复精度 |
±0.2% F.S. |
|
响应时间 |
≤4 sec |
|
工作压差范围 |
(0.1 ~ 0.3) MPa |
|
最大工作压力 |
0.5 |
|
耐压 |
3 MPa |
|
工作环境温度 |
5 ℃ ~ 45 ℃ |
|
输入输出信号 |
0 V ~ +5.00 V(输入阻抗大于100K, 输出电流不大于3mA) |
|
电源 |
+15V 50mA |
|
重量 |
0.85 kg |
0.9 kg |
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