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CS330质量流量控制器&流量计

CS330产品是七星华创流量计新研发的高端数字型产品，最高流量可达200SLM氮气，并可实现数字/模拟控制模式；产品采用了新型全金属密封结构形式、大流量、低压损电磁调节阀、以及先进的人工智能机器人金属表面抛光技术，可用于测量各种气体的流量，包括惰性气体、强腐蚀性气体、易燃易爆等危险性气体。产品具备精度高、响应速度快、低零漂、低温漂性能等优点，并支持DeviceNet，RS485通讯协议。

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产品描述

参数

优势

• 新型的金属密封结构形式。该密封结构形式具有密封可靠、装配工艺简单、耐腐蚀等优势，广泛适用于各类气体流量的测量。
• 体积小、零漂小、抗干扰能力强的传感器。该传感器采用上、下游对称性结构设计，从而保证了传感器的零漂小;传感器内部设有保温棉，极大程度降低了环境温度对传感器的影响，从而提高了传感器的抗干扰能力，确保了气体流量检测的精度。
• 先进的人工智能机器人表面抛光技术。CS330系列产品金属表面粗糙度可达0.1RA，严格按照SEMI标准生产制造。
• CS330系列产品支持±8V~±16V双电源或者+14V~+28V单电源供电;支持数字，模拟输入输出。
• CS330系列产品支持多种电气接口，包括DB9、DB15、DeviceNet(侧部、顶部);支持RS485，DeviceNet通讯方式。

技术参数

CS330C、D
类型	CS330C、D
阀类型	常闭	无
流量规格(N2)	(100,200) SLM
准确度	±1.0% S.P. (＞35% F.S.) ±0.35% F.S. (≤35% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 1 sec
工作压差范围	100 ~ 300 KPa （50＜F≤100SLM） 200 ~ 300 KPa （100＜F≤200SLM）
温度系数	零点: ≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.1% F.S./℃
最大工作压力	0.45 MPa
耐压	1 MPa (435pisg)
漏率	5 x 10^-12 Pa·m³/ sec He （5 x 10^-11 atm.cc/sec He）
密封材料	金属
工作环境温度	（0～50）℃
输入信号	数字: RS485或 DeviceNetTM 模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA	无
输出信号	数字:RS485或 DeviceNetTM 模拟:(0～5)VDC或(4～20)mA
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S./年
电源	±8 ～ ±16 VDC (双极)或 +14 ～ +28VDC (单极)
表面化学成分	常态
标准接头形式	VCR 1/2´´
电源接头形式	D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet 接头
重量	2.6 Kg		1.5 Kg