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CS300质量流量控制器&流量计

CS300气体质量流量控制器是金年会app计专门为大规模集成电路装备设计的产品，该产品在原有CS200气体质量流上，采用了基于DF的压力信号补小偿算法，全量控制器的基础新的金属表面处理工艺，产品各项技术指标均严格按照SEM标准，支持Ⅵ型，C型GS气路系统。

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产品描述

参数

优势

• 准确度采用设定点精度，产品精度可达±1.0% S.P.，响应时间最快≤ 0.5sec。
• CS300系列产品可带有压力补偿功能，对前段气体压力的扰动进行有效的补偿，减少压力变化对瞬时流量影响，从而保证产品工作的稳定性和准确性。
• 采用的恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
• 高端产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS300C产品金属表面粗糙度更可达5RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。

技术参数

CS300
类型	CS310C		CS320C		CS310D		CS320D
阀类型	常开或常闭	无	常开或常闭	无	常开或常闭	无	常开或常闭	无
流量规格(N2)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
工作压差范围	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa
温度系数	零点：≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.05% F.S./℃
耐压	3.5 MPa
漏率	1×10^-11 Pa·m³ / sec He
密封材料	金属密封
最大工作压力	0.45MPa
工作环境温度	（0～50）℃
输入信号	数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC	无	数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC	无	数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC	无	数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC	无
输出信号	数字：RS485 或 DeviceNet或 EtherCAT 模拟：(0～5)VDC
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S./年
电源	±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极)
表面化学成分	Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）				-
表面粗糙度	Ra 5μinch
标准接头形式	VCR1/4阳接头； 1.125″C型密封接头 1.125″W型密封接头		1.5″B型密封接头 1.5″C型密封接头 1.5″W型密封接头		VCR1/4阳接头； 1.125″C型密封接头 1.125″W型密封接头		1.5″B型密封接头 1.5″C型密封接头 1.5″W型密封接头
电源接头形式	D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg

型号	CS310C		CS320C
阀类型	常开或常闭	无	常开或常闭	无
流量规格(N2)	(0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500) SCCM (0～1,2,3,5,10,20,30) SLM
准确度	±1% S.P. (≥35% F.S.) ±0.80% S.P. (≥30% F.S.) ±0.35% F.S. (＜35% F.S.) ±0.24% F.S. (＜30% F.S.)
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤ 0.8sec （≤ 0.5sec optional）
工作压差范围	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa	0.05～0.35MPa 流量规格≤10SLM 0.15～0.35MPa 流量规格＞10SLM	＜0.02 MPa
温度系数	零点：≤±0.02% F.S./℃；调节时：≤±0.05% F.S./℃
耐压	3.5 MPa
漏率	1×10-11 Pa·m3 / sec He
密封材料	金属密封
最大工作压力	0.45MPa
工作环境温度	（0～50）℃
输入信号	数字：RS485 或 DeviceNet 模拟：(0～5)VDC	无	数字：RS485 或 DeviceNet 模拟：(0～5)VDC	无
输出信号	数字：RS485 或 DeviceNet 模拟：(0～5)VDC
零漂	在没有零点校正时＜0.6%F.S./年
电源	±8～±16 VDC (双极) 或 +14～+28 VDC (单极)
表面化学成分	Cr/Fe比例≥2.0；CrO 厚度≥20 （埃）
表面粗糙度	Ra 5μinch
标准接头形式	VCR1/4阳接头； 1.125″C型密封接头 1.125″W型密封接头		1.5″B型密封接头 1.5″C型密封接头 1.5″W型密封接头
电源接头形式	D型9针阳接头；D型15针阳接头；DeviceNet接头
重量	1 Kg	0.8Kg	1.2Kg	1Kg