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PC100压力控制器
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产品描述
参数
优势
• 基于PTS(Pressure,Temperature,Space)的压力传感技术
• 基于AI的压力控制技术
• 全金属耐腐蚀技术
• 高准确度及高可靠性
技术参数
类型 |
PC100 |
压力类型 |
绝压 |
控制压力的满量程 |
1000Torr、1200mbar |
耐压 |
3MPa |
阀口满量程流量 |
2、3、5SLM |
控制方式 |
上游 |
温度系数 |
Zero:±0.02% of F.S./℃;Span:±0.04% of Reading/℃ |
压力分辨率 |
0.1 Torr |
压力控制精度 |
±1.0% of Reading(≥10%FS); ±0.2% of F.S. (<10%FS) |
响应时间 |
< 1.0 S |
工作温度范围 |
10 ℃ ~ 50 ℃ |
机械接口 |
双卡套 1/4" 、 VCR 1/4" 阳接头 |
阀类型 |
常闭 |
外漏 |
< 1 x 10-10(scc/sec He) |
内漏 |
< 1.0% of 阀口满量程流量 (阀关闭时,进气端为25 psig,出气端为大气) |
供电电源 |
+15 ~ +24 VDC(< 4 watts) |
电气接口 |
DB-9针 |
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